CCZK-SFL連續磁控鍍膜生產線

腔體結構：采用高效的臥式連續磁控鍍膜流水線，配備前后粗抽室，前后過渡室，前后精抽室，前后緩沖室，彩鍍室。

靶材設計：采用新型旋轉陰極靶材以及平面陰極靶材。

電源配置：配備大功率中頻磁控濺射電源

傳動系統：滾軸傳動，變頻可調，感應式室門開啟系統。

真空系統：擴散泵（分子泵）+羅茨泵+機械泵+深冷泵

可鍍膜玻璃或平板，尺寸可定制

生產線安采用了先進的插板閥進行腔室隔斷，可以實現有效隔斷，穩定工藝氣體。

生產線采用了均勻進氣管結構設計，氣流注入均勻平緩；

電氣控制：生產線采用PLC全過程控制，快速的生產節拍，配備工業計算機顯示系統。

人機對話：控制系統能實現人、機對話，及時對生產過程進行必要干預。運行過程有報警提示和故障顯示，故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。

其他技術參數：

極限真空： 3.0×10-2Pa

水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa；

一般規格：W1200mm*L2000mm(單室） W1500mm*L2400mm(單室）

真空室尺寸或設備配置可按客戶產品及特殊工藝要求訂做

ITO導電膜鍍膜，幕墻玻璃，非晶硅太陽能電池，Low-e低輻射玻璃，鋁鏡彩鏡等各種產品的連續式鍍膜生產。