CCZK-OGS光學電子槍鍍膜設備

腔體結構：  立式前開門，臥式前開門，后置真空獲得系統

材質用料：腔體均采用優質不銹鋼鍛造

制膜種類：光學多層膜，光學增透膜、減反射膜（AR）、單點增透、截止濾光片、七彩裝飾功能膜等

轉動系統： 變頻調速，配備光學鍍膜傘和行星式工件轉架

電子束蒸發器： 配備大功率E型電子槍

輔助鍍膜： 可配備霍爾離子源或 高壓離子轟擊電源以提高附著力、膜層密度、穩定折射率

加熱系統：鎧裝加熱管加熱方式，350℃溫控PID控制。

真空系統：擴散泵（可選分子泵）+羅茨泵+機械泵+維持泵+深冷系統（可選）

氣體控制： 采用多路氣體流量控制儀

膜層監測： 配置采用美國INFICON產石英晶振膜厚儀，可實現膜層參數的儲存與自動調用

智能控制： PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面，實現邏輯全自動控制

報警及保護：異常情況進行報警，并執行相應保護措施。

其他技術參數：

極限真空： 5.0×10-4Pa

抽氣速率： 5.0*10-2≤5min

水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa；

備注：

一般規格： Φ1350*H1350，Φ1600mm*H1500mm,Φ2050mm*H1500mm，

真空室尺寸或設備配置可按客戶產品及特殊工藝要求訂做

光學鏡頭，光學鏡片（玻璃、PC等），高級AB彩亞克力，手機鋼化玻璃視窗，黃金管（石英紅外加熱管），濾光片，可鍍膜增透膜等各種膜層。